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百年机械、名家论坛-12月10日华中科技大学黄永安教授学术报告

发布于:2019/12/09

学术报告:超薄柔性电子的激光剥离理论与研究

主讲人:黄永安教授

时间:2019年12月10日14:30-15:30

地点:机械学院316报告厅

报告人简介

黄永安,男,1980年8月出生,华中科技大学教授,数字制造装备与技术国家重点实验室副主任,国家杰出青年科学基金获得者。1997年-2007年在西北工业大学获得本硕博学位,2007年进入华中科技大学从事博士后工作,2009年留校工作至今。从事柔性电子的器件设计、工艺原理与制造装备等研究,聚焦于多学科交叉前沿研究领域,在Advanced Functional Material、Nano Energy、Materials Horizon、Small、Nature Comm.等期刊发表SCI论文70余篇,出版著作3部,授权国家发明专利60余项,美国专利1项;提出电流体喷印原理并开发出高分辨率电流体喷印装备、超薄柔性电子激光剥离装备等,获得湖北省自然科学一等奖、瑞士日内瓦国际发明特别金奖/金奖。兼任《中国科学:技术科学》中英文版的青年编委、Scientific Reports编委等。

报告内容简介

将电子器件从刚性基板上剥离是柔性电子制造关键工艺,但如何可靠剥离超薄(<5μm)柔性电子仍面临挑战。本报告介绍激光剥离超薄PI薄膜的工艺机理和技术特性。激光透过玻璃基板后在PI与玻璃基板界面烧蚀PI薄膜,使界面的微观形貌发生改变,被激光烧蚀PI产生的气体物质进一步降低界面粘附强度从而加速剥离。烧蚀过程中气体产物的多少,决定了激光剥离最终效果。理论研究发现超薄PI薄膜在激光剥离时,工艺窗口狭窄,发生褶皱和破损的机理。提出了多功能柔性电子传感器的制备工艺,实现了超薄(2μm)多功能传感器的制备,用于复杂曲面表面的多物理量测量,包括人体生理信息采集、飞行器表面的多种物理测量。